IMEC presenta il sensore di pressione basato su MOMS

Il centro di ricerca nanotecnologico belga della IMEC ha sviluppato un sensore di pressione basato sulla tecnologia micro-optomechanical systems (MOMS). Il dispositivo esprime un'ottima precisione di misura su una vasta gamma di pressione.

Il sensore avanzato della IMEC potrebbe essere utilizzato in una varietà di applicazioni, in particolare nei settori della medicina e della vita, come la misura della pressione intracranica o il monitoraggio della pressione sanguigna intravascolare dove è necessario un rilevamento remoto ad alta qualità. Il sensore ha anche dimostrato la sua biocompatibilità e può essere utilizzato in combinazione con la tecnologia MRI in quanto non ci sono parti metalliche.  I sensori di pressione per misurare parametri come l'altitudine e la profondità o per impegnarsi in sensori di flusso sono attualmente basati su tecnologie MEMS o fibre ottiche che portano vantaggi e carenze. I sensori di pressione MEMS sono noti per la loro buona prestazione e le dimensioni ridotte. I sensori di fibra ottica, nel frattempo, sono adatti per l'uso in ambienti difficili, ma sono meno integrati e più complessi e costosi.  Il dispositivo basato su MOMS di IMEC dovrebbe combinare entrambe le caratteristiche, come dimostra la sua alta precisione; inoltre, il nuovo sensore dimostra un'alta tolleranza alle interferenze EMI e supporta la multiplexing. I test hanno mostrato una precisione quadrata media minore di 1Pa in una gamma che potrebbe raggiungere i 100 kPa.

 

 

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